横河ZR22G/ZR402G分氧化锆高温湿度分析仪
产品信息
横河电机新推出的氧分析仪OX400，是公司在该技术的长期经验积累和业绩基础上研发出来的。
氧化锆传感器中采用了新型薄膜沉积技术，在氧化锆元素和铂层间建立了分子联接。这样不剥离，还可以减小传感器尺寸，响应和长寿命。
OX400可用于控制和各种半导体应用，并控制环境，空气泄漏入惰性气体及其他过程。
用于半导体扩散炉和烘干炉，以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制 用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度，以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中氧气浓度的测量 测量氧气浓度，粉尘运输中粉尘
特性#使用寿命长，响应速度快
--由于使用了横河电机的新型薄膜沉积技术，传感器的寿命周期了三倍
--圆柱形传感器设计便于置换被测气体，响应
#和高性
--即使在低氧浓度下，仍具有高的和线性
--在不同应用中，可选择泵式或抽提采样方式
#内置功能和多种自诊断功能
--自带多选择器，自动量程，特定量程以及泵开/关功能
--提供多种自诊断功能，以检测故障，如加热器温度错误，温度传感器断偶和传感器电阻值错误
#出众的维护性
-- 可现场更换传感器
--小型轻量，易于安装
规格| 测量对象 | 惰性气体中的氧气浓度 (易燃性气体、二氧化硅、腐蚀性气体或液体(包括水蒸气)除外) | ||||||||
| 测量系统 | 氧化锆系统 | ||||||||
| 采样方法 | 泵式，抽提式等 | ||||||||
| 样气条件 | 流速: 200 &plun; 25ml/min(用于传感器) 温度: 0~50℃(无结露) 湿度: 无结露 压力: 0~300PaG 容许压力: 30kPaG | ||||||||
| 测量量程 | 0-10ppm O2至0-100vol% O2 | ||||||||
| 输出量程 |
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| 模拟输出 | 2路输出， : 4～20mA DC(负载电阻: 550Ω) 二次: 可选为0~1，0~5，0~10V DC(负载电阻: 10kΩ或更大) | ||||||||
| 接点输出 |
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| 接点输入 | 1点: 采样气体吸入泵的远程ON/OFF | ||||||||
| 自诊断 |
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| 串口通信 | RS-232，38400 bps | ||||||||
| 标定方法 | (1)3点: 10ppm，1000ppm，空气，(2)2点: 可设定为点气和量程气标定，(3)1点，(4)空气标定 | ||||||||
| 暖机时间 | 20分以内 | ||||||||
| 电源 | 100 - 120V AC/220 - 240V AC，50/60Hz | ||||||||
| 功耗 | 100～120V AC，200VA ，220～240V AC，400 VA | ||||||||
| 尺寸 | 213 (W) x 132 (H) x 约375 (D) mm | ||||||||
| 质量 | 约5kg | ||||||||
| 管线连接 | 气体入口: Rc1/4或1/4NPT内螺纹 气体出口: Rc1/4或1/4NPT内螺纹 | ||||||||
| 环境条件 |
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| 合的标准 和EMC标准 |
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&plun;3%F.S.(0~100ppm或更低) 响应时间 90%响应
10秒内(0~1%或更高)
30秒内(小于0~1%) 漂移 &plun;2%F.S./周
