参数:
温度 750℃
控温 ±1℃
炉温均匀性 满载15点400℃±8℃、满载15点600℃±5℃
限真空 6.7×10^pa
压升率 0.4pa/h
控温 单曲、多区
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炉温均匀性 满载15点400℃±8℃、满载15点600℃±5℃
限真空 6.7×10^pa
压升率 0.4pa/h
控温 单曲、多区