产品介绍
Verifire™ ATZCoherent Artifact SuppressionRing of Fire™点光源是Verifire™ AT激光干涉仪获取清洁图像的基础，传统的激光干涉仪用的是相干点光源，在测试腔中形成相干光。但是，点光源在光路中遇到细小颗粒时同时也会产生寄生的干涉条纹（牛眼环）。的Ring of Fire™光源系统是只对光学腔产生干涉，而将干涉腔外的细小颗粒产生的干涉条纹遏制，整个干涉仪的性能得到增强，所测量的性能得到增强，所测量的结果更令人信服。高的光学元件和光学系统需要的测量技术和方法，不需要具备操作简单和长期稳定的检测设备和方法，同时更需要更品检测的需求。ZYGO Verifire™激光干涉仪做的Ring of Fire™光源技术，消除了长期困扰的“牛眼环”所带来的测量上的影响，将测量到一个新的台阶，同时配备ZYGO自主开发的Metropro软件，以及与传统激光干涉仪互配的各种附件，真正使Verifire™激光干涉仪在、简易和稳定基础上新的高度。可以说，ZYGO Verifire™激光干涉仪不是新一代的激光干涉仪，更是新的干涉测量技术的。
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