影像测量仪/ITO/TFT检测
产品特色：
1、00级花岗岩底座和立柱，机台拥有高的稳定性和刚性，工作台整体铸造，经时效热处理/稳定化处理；
2、工作台采用双面扣式设计，选用精密P级V型导轨，拥有高的直线性，运行的机械，精密光轴传动；
3、激光指示器指示测量位置，快速定位；
4、高分辩率日本CCD配的美国NVA光学镜头，的测量画面；
5、选用精密级新天光学尺，分辩率为0.0005mm（0.5um）,重复为0.001mm；
6、大的测量软件，可手动批量编程测量，多种报表格式输出转换；
7、可选配高清ITO/TFT导电薄膜光学镜头CCD，选配英国RENSHAM接触式测头组。
仪器规格参数: 长度单位：mm
仪器型号 | VMS-2010 | VMS-3020 | VMS-4030 | VMS-5040 | VMS-6050 | |
工作台 | X/Y轴行程 | 200×100 | 300×200 | 400×300 | 500×400 | 600×500 |
Z轴行程 | 空间245mm,调焦行程170mm，工作距离95mm | |||||
金属台尺寸 | 350×220 | 450×350 | 550×450 | 700×600 | 800×700 | |
玻璃台尺寸 | 230×130 | 330×230 | 430×330 | 530×430 | 630×530 | |
传动方式 | X/Y轴光杆传动、Z轴光轴传动 | |||||
数字测量系统 | 光学尺分辨率：X/Y轴0.0005mm(0.5um) | |||||
测量：≤3um+L/200重复：≤1um+L/200 | ||||||
多功能数据处理器可测点、线、圆、角度等 | ||||||
影像系统 | 摄像机：日本彩色1/3” CCD摄像机放大倍率30-230X | |||||
镜头：NVA高清变倍镜头/连续放大分辨率0.7-4.5X 可选配0.5X物镜时，总放大倍率15-115X 可选配2X物镜时，总放大倍率60-460X | ||||||
照明系统 | 表面光源与光源LED冷光源、寿命长、亮度可调 | |||||
仪器外开尺寸 | 500×700×1100 | 550×700×1100 | 600××750×1100 | 700×900×1150 | 850×1050×1200 | |
仪器重量 | 180 | 230 | 260 | 300 | 500 |
