6517A型高阻计/静电计

灵敏高阻/低电流测量仪器
6517A型高阻计/静电计

 的电流测量灵敏度1&tim;10-17A；
的电阻(率)直接测量能力5&tim;10-17Ω；
准确度、灵敏度、功能、价格任何其他公司的高
阻计/静电计。
测量范围：
电流(10-17~10-2A)；
电压(10-6~102/104V)；
温度(-190~1350℃)；
电阻(10-1~1017Ω)；
电荷(10-15~10-6C)；
湿度(0.3%~100%)

主要性能：
输入阻大于2&tim;10¹⁴Ω；
输入端压降小于20µV；
仪器内部温度湿度补偿；
已备1kV精密程控电压源，小步长5mV；
测量数据可作为t,T,H的函数；
六位半弱电流和高阻电压测量分辩率；
小信号带宽100kHz；
直接测体/表面电阻率10¹⁸Ωcm,10¹⁷Ω/口；

噪声小于7.5&tim;10^-16A；
具有十通道测量扩展能力；
快速弱电流测量125点/秒；
多参数同时测量和显示；
带IEEE-488.2接口和RS-232接口；
前放输出(阻转换)和模拟输出；
长可驱动300米电缆；
数据存储(15K,Max),触发联接技术

选  件：
8009-体/表面电阻率测试箱；
8002A-元器件测试箱；
6521/6522-十通道低漏电流扫描卡；
6517-RH-湿度探头；
KPC-488.2AT-IEEE-488.2接口卡；
TTPOINT-测控软件包；

SC-9(22)-二(三)同轴低噪声电缆；
6103C-40KVDC输入分压探头；
237-TRX-NG-三槽三同轴至BNC转接器；
5156-校准源；
6524-高阻、体/表面电阻率测试软件包，新变电压
   性法增强高阻测试能力

软件支持：
与617静电计兼容，SCPI命令；
6524高阻、体/表面电阻率测试软件；
有LABVIEW和TTPOINT软件所驱动程序；
多种编程举例；
内置九个标准测试程序：
二级管漏电流测试；
电容漏电测试；

表面缘电阻测试；
电缆缘电阻测试；
方波扫描测试；
电阻电压系数测试；
体电阻率测试；
表面电阻率测试；
阶梯波扫描测试

62/65系统：
62系统适用于高阻元器件测试，包括6517A高阻计，8002A元器件测试盒，6524软件及电缆附件；
65系统适用于高阻材料测试，包括6517A高阻计8009电阻率测试盒，6524软件及电缆附件