规格
一、測定工件：
1. 工件尺寸：φ
2. 工件厚度：
3. 工件重量：
二、檢出器（pick up）：
1. Z方向測定範圍：Max. 600μm
2. Z方向分解能：0.1nm
3. 測定力：min.1mgf,max.50mg
4. 觸針半徑：2 μm
5. 驅動方式：直動式
6. 再現性：1σ= 1nm
三、X 軸 (基準軸)：
1. 移动量(測長)：
2. 移動的真直度：0.2μm/
3. 移動,測定速度：0.02 ~
4. 線性尺(linar scale)：分解能 0.1μm
四、Z軸：
1. 移动量：
2. 移動速度：max
3. 檢出器自動停止機能
4. 位置決定分解能：0.2μm
五、工件台：
1. 工件台尺寸：φ
2. 機械手動倾斜： ±
六、工件觀察：max.110 倍(可選購其它率CCD)
七、床台：材質為花崗岩石
八、振台(選購)：落地型或桌上型
九、電源：AC100V±10%,
50/60HZ, 300VA
十、本體外觀尺寸及重量：
W494×D458×H
(不含震台)
