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ET9000系列电输运性质测量系统
ET9000系列电输运性质测试系统是集霍尔效应、磁阻、I-V特性等测试于一体的全自动化测试系统。系统全面地考虑了仪表配置、电路接线（包括室温和低温的接线）等用户经常忽略的问题，选取了美国Keithley的电测量仪表，磁场根据用户需要采用电磁铁或无液氦超导磁体， 配备灵巧的测量样品杆，加上全自动化的专用测试软件，能让用户快速方便地进行样品测试，并获得准确可靠的数据。 此外、系统还有多种低温选件，并可以根据用户现有的仪表和对软件的特殊要求进行特殊改造， 是广大科研工作者对样品进行电输运性质研究的有力工具。
基本配置组成：
一、 测量仪表部分
Ø 标准系统： 美国Keithley公司的2400电流表、2700万用表、7709矩阵卡以及接口适配器和GPIB电缆等。
Ø 高阻系统：美国Keithley公司的6220电流表、 2182A 纳伏表、6485皮安计、 6514静电计、7001开关盒、7152矩阵卡以及相应的连接电缆、接口适配器和GPIB电缆等。
二、 磁场组成部分
Ø 电磁铁系统：
Mini电磁铁+ HP1型高稳定性双极电磁铁电源，高斯计
EM5电磁铁+7050型高稳定性双极电磁铁电源，高斯计及水冷系统
EM7电磁铁+9060型高稳定性双极电磁铁电源，高斯计及水冷系统
EM10电磁铁+65135型高稳定性双极电磁铁电源，高斯计及水冷系统
Ø 超导磁体系统：英国Cryogenic公司5T～18T无液氦超导磁体系统， 水冷系统
三、 系统辅助部分
Ø 测试总成：包括样品杆及支架总成、 样品盒模块、样品卡和连接测试电缆等；
Ø 仪表安装柜、高性能电脑和液晶显示器；
Ø 东方晨景电输运性质测量专用软件；
Ø 安装和操作使用手册等。
主要特点:
Ø 标准系统使用插入式样品夹具，样品安装方便；
Ø 基本配置多可以加装四个样品， 并同时可以对两个样品进行测试；
Ø 标准系统随机配送一个探针样品卡；
Ø 标准系统可以进行不同磁场下的霍尔效应、I-V特性的测量；
Ø 电阻测量范围宽：0.1mΩ—50GΩ（高阻系统），测量的不确定度为2%；
Ø 测试过程和计算过程由软件自动执行，节省了大量的时间；
Ø 软件可以显示测量结果和测量曲线；
Ø 系统磁场采用闭环控制，可以提供高稳定性的磁场， 同时解决了磁铁剩磁问题，实现真正的零磁场；
Ø 选择变温选件，可以进行不同温度下的霍尔效应测量和I-V特性测量。
可测试材料:
² 半导体材料：
Si、Ge、GaAs、GaN、AlGaAs、CdTe、HgCdTe、CdTe、ZnO、SiC、GeSi、InP、MCT等，以及弱磁半导体和稀磁半导体的薄膜及块材；
² 铁氧体材料；
² 低阻抗材料：金属、透明氧化物、弱磁性半导体材料、TMR材料等。
基本功能:
u 可以进行霍尔效应、I-V特性（电阻率）及磁电阻（MR）的测量；
u 可得出参数：霍尔效应——方块电阻、电阻率、霍尔系数、导电类型、霍尔迁移率、载流子浓度；
u I-V特性的MR的特性曲线包括：
Ø 不同磁场下的I-V特性曲线
Ø 不同温度下的I-V特性曲线
Ø 不同磁场下的变温I-V特性曲线
Ø 不同温度下的变磁场I-V特性曲线
Ø 电阻随温度、磁场变化的特性曲线
Ø P-B曲线
主要技术指标:
u
样品尺寸：
1）小尺寸双面样品卡，面积为12× 12mm
2（随机配送10个）；
2）大尺寸单面样品卡，面积为50× 50mm
2（随机配送10个）；
3）探针样品卡，可测样品尺寸范围：1× 1mm
2, , ～30× 30mm
2（随机配送1个）。
u
样品的接线方式：
1）霍尔效应测量：
Van der Pauw；
Hall bar 1-2-2-1；
Hall bar 1-3-1-1；
Hall bar 1-3-3-1；
2）I-V特性和磁电阻测量： 直列四点法
u
样品接线方式：4线法或6线法
u
温度环境（标准系统不带变温选件，只能进行室温下的测量）：
无液氦超导磁体系统（系统自带低温选件， 不用单独选择）：1.6K～325K
液氮恒温器选件：
标准液氮恒温器： 80K～325K
高温型液氮恒温器： 80K～500K
循环制冷机选件（不消耗液氦/液氮等制冷剂）：
标准4K制冷机系统： 4K~325K
高温4K制冷机系统： 4K~500K
高温4K制冷机系统： 4K~700K
标准10K制冷机系统： 10K~325K
高温10K制冷机系统： 10K~500K
高温10K制冷机系统： 10K~700K
微型制冷机系统：45K~325K
u
磁场环境：
1）Mini型电磁铁： 6000G@23毫米
2）EM5型电磁铁（ET-9005或ET9105型）
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极柱直径
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127mm（5英寸）
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极头直径
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60mm
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磁场间隙
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室温
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小制冷机
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CCS制冷机
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液氮恒温器
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22mm
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24mm
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40mm
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24mm
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磁感应强度
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1.8T(18kGs)
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1.7T(17kGs)
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1.1T(11kGs)
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1.7T(17kGs)
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均匀度
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±1%
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3）EM7型电磁铁（ET-9007或ET9107型）
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极柱直径
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178mm（7英寸）
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极头直径
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76mm
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磁场间隙
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室温
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小制冷机
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制冷机
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液氮恒温, 器
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22mm
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24mm
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40mm
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24mm
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磁感应强度
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2.1T(21kGs)
2.0T(20kGs)
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1.5T(15kGs)
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2.0T(20kGs)
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均匀度
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±1%
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4）EM10型电磁铁（ET-9010或ET9110型）
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极柱直径
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250mm（10英寸）
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极头直径
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76mm
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磁场间隙
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室温
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小制冷机
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制冷机
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液氮恒温器
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22mm
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24mm
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40mm
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24mm
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磁感应强度
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2.4T(24kGs)
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2.3T(23kGs)
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2.0T(20kGs)
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2.3T(23kGs)
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均匀度
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±1%
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5)CFM无液氦超导磁体（ET9000CFM-X或ET9100CFM-X型）
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样品腔直径
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25mm
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磁场均匀区高度
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50mm
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磁场范围
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5T
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6T
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7T
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8T
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9T
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10T
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11T
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12T
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13T
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14T
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15T
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16T
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17
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18T
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变温范围
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1.6K～325K
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磁场均匀度
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±0.1%直径为 10mm的球体内
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u
主要电性指标
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标准系统
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高阻系统
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电压范围
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200V
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100V
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电流范围
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±10nA到± 1A
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±100fA到± 1A
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阻值范围
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Van der Pauw： 40mΩ到 20MΩ
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Van der Pauw：0.4mΩ到50GΩ
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Hall bar： 10mΩ到20MΩ
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Hall bar： 0.1mΩ到50GΩ
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u
软件界面
订货信息:
1、 阻值范围选择：
标准系统：ET9000系列
高阻系统：ET9100系列
2、 磁场选择：
标准系统：ET9001 ET9005、ET9007、ET9010、ET9000CFM-X（X： 0～18T之间选择）
高阻系统：ET9105、ET9107、ET9110、ET9100CFM-X（X：0～18T之间选择）
3、 温度范围选择：
液氮恒温器： CME-15（80K~325K）；
CME-15H（80K～500K）
制冷机： CCS-350S； CCS-350ST（10K~325K，可配500K、800K高温选件）
CCS-300S/202；CCS-300ST/202（11K~325K，可配500K、800K高温选件）
CCS-300S/204；CCS-300ST/204（10K~325K，可配500K、800K高温选件）
CCS-300S/204N；CCS-300ST/204N （7K~325K，可配500K、800K高温选件）
SHI-4S-1；SHI-4ST-1（4K～325K，可配500K、800K高温选件）
SHI-4S-5；SHI-4ST-5（4K～325K，可配500K、800K高温选件）
MinCool-1（台式小型闭循环制冷机，45K~325K）
4、其它选件：
LND-10-50液氮罐
LNP-101手动液氮泵
机械泵选件（包括相应的真空连接件）
分子泵组选件（包括相应的真空连接件）
