| 型号 | 玻璃厚度及翘曲在线测量仪 | |
| FL-5000 | ||
| 测量范围 | 根据物件尺寸定制 | |
| 外形尺寸 | 根据物件尺寸定制 | |
| 激光重现性 | ≤ 0.5 μm | |
| 工作台承重（kg） | 2.5kg | |
| 机台重量 | 100kg | |
| 测量 | 视物件大小而定（直径100范围内，约5μm） | |
| 控制方式 | 自动 | |
| 仪器厚度测量 | ≤ ±0.005mm | |
| 仪器翹曲测量 | ≤ ±0.025mm | |
| 仪器重现 | ≤ ±0.005mm | |
| 仪器效率 | 1200件/時 | |
| 检测系统 | 激光位移感测系统 | |
| 电源 | 220 V ± 10% ，50 Hz （用电设备要求接地：接地电阻小于4欧姆） | |
| 工作环境 | 20℃ ± 2℃，温度变化＜2℃/hr，湿度45% ~ 75% | |
| 振动＜0.002g，低于15Hz | ||
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