F6000系列
产品描述
炜盛 的F6000系列MEMS皮拉尼真空传感器提供了
一个性的真空测量方案。该传感器外形微小，同
时又具有功耗，长寿命，低现场维护，和
的优点。
依据“气体热导系数与低真空范围压力成正比”的原
理，炜盛真空传感器测量加热元件上由于传热到周围的
气体而导致的细微的电阻变化。
皮拉尼真空传感器
该加热元件（即测量电阻）是由一个置于一张隔热膜
上的铂薄膜电阻构成。隔热膜悬覆在一个微加工的
25祄深空腔上，空腔底部表面与隔热膜平行，以
精密测量传热率。由于被测气体体积小（即空腔容
积小），炜盛传感器能够提供的功耗和快速的
响应时间。
炜盛真空传感器还提供了
一个与测量电阻具有相
同电阻温度系数（TCR）
的基准电阻，布置在传
感器芯片基板上。传感
器电路可用它来进行环
境温度补偿。
由于具有性高，成本低，使用简便和功耗的
逐项优点，采用MEMS工艺加工的，微型化的皮拉尼技
*术正在成为一个行业标准。炜盛 的F6000系列
MEMS皮拉尼真空传感器可以帮助客户充分利用这一趋
势，以其现有的产品和开发新的产品。
实际应用
·分析仪器
·使用前级真空的封闭系统的检漏
·半导体设备
·真装机
·便携式数字真空计
·小型机械系统（如泵）以规定的真空度
·真空开关来验证1托以下的真空度
指标
·工作温度：-40C至125C（可提供更高温度型号）
·湿度：0到100％RH，非冷凝
·耐冲击性：1000g
·压：27.5Bar
输出电压与真空的关系
加热电流=6毫安 温度= 25℃ 测量电阻=156欧姆
电话：/
网址：www.winsensor.com
