详细介绍 | |
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重复:
- 量测速度:60Profiles/s
- 高度量测范围:5-500um
- 分辨率:0.5um
- 重复误差:高度小于1.2um,体积小于1%(基于3西格玛方法)
- XY轴移动范围:300mm*300mm(auto)
- XY 轴: 0.25um
机器配置:
标准UP3500系统,包括以下部分:
激光测量系统:
- 激光发生系统
- 光学检测系统
- 电脑控制系统
- 系统安装备份软盘
- 标准高度及校验证书(当地制作,以合当准)
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机器配置:
标准UP3500系统,包括以下部分:
激光测量系统: