EX3自动椭圆偏振测厚仪是基于消光法（或称“零椭偏”）测量原理，针对纳米薄膜厚度测量领域推出的一款自动测量型教学仪器。与EM22仪器相比，该仪器采用半导体激光器作为光源，稳定性好，体积更小。EX3仪器适用于纳米薄膜的厚度测量，以及纳米薄膜的厚度和折射率同时测量。EX3仪器还可用于同时测量块状材料（如，金属、半导体、介质）的折射率n和消光系数k。
注：(1)测量重复性：是指对标准样品上同一点、同一条件下连续测量30次的标准差。
特点:
经典消光法椭偏测量原理
仪器采用消光法椭偏测量原理，易于操作者理解和掌握椭偏测量基本原理和过程。
方便安全的样品水平放置方式
紧凑的一体化结构
高稳定性光源
丰富实用的样品测量功能
便捷的自动化操作
安全的用户使用权限管理
可扩展的仪器功能
应用领域:
EX3适合于教学中单层纳米薄膜的薄膜厚度测量，也可用于测量块状材料的折射率n和消光系数k。EX3可测量的样品涉及微电子、半导体、集成电路、显示技术、太阳电池、光学薄膜、生命科学、化学、电化学、磁质存储、平板显示、聚合物及金属表面处理等领域。技术指标:
| 项目 | 技术指标 |
| 仪器型号 | EX3 |
| 测量方式 | 自动测量 |
| 样品放置方式 | 水平放置 |
| 光源 | 半导体激光器，波长635nm |
| 膜厚测量重复性* | 0.5nm (对于Si基底上100nm的SiO2膜层) |
| 膜厚范围 | 透明薄膜：1-4000nm吸收薄膜则与材料性质相关 |
| 折射率范围 | 1.3 – 10 |
| 探测光束直径 | Φ2-3mm |
| 入射角度 | 30°-90°，0.05° |
| 偏振器方位角读数范围 | 0-360° |
| 偏振器步进角 | 0.014° |
| 样品方位调整 | Z轴高度调节：16mm二维俯仰调节：±4° |
| 允许样品尺寸 | 圆形样品直径Φ120mm，矩形样品可达120mm x 160mm |
| 配套软件 | * 用户权限设置* 多种测量模式选择* 多个测量项目选择* 方便的数据分析、计算、输入输出 |
| 外形尺寸 | （入射角度70°时）450*375*260mm |
| 仪器重量（净重） | 15Kg |
性能保证:
- ISO9001国际质量体系下的仪器质量保证
- 的仪器使用培训
- 的椭偏测量原理课程
