| 产品特点 | |
| ● 整体一体化新外观设计 ● X、Y、Z三轴伺服控制、定位高，运行平稳 ● X、Y向导轨采用高花岗石，性能稳定，不易变形 ● 操纵秆/鼠标操作、方便易用 ● 程控恒流驱动式四环四驱冷光表面光源，可适应复离的工件测量 ● 激光指示器指示测量位置，方便快速定位 ● Y向传动为定位导向，运行更平稳，更高 ● 行程大，测量范围更广 | |
| 技术规格参数 | |
| 机台结构 |
| 型号 | VMS-0810H | VMS-1012H | VMS-1215H |
| X/Y轴行程(mm) | 800*1000 | 1000*1200 | 1200*1500 |
| 玻璃台尺寸(mm) | 885*1158 | 1085*1358 | 1285*1858 |
| 外形尺寸(m) | 2.17*2.38*1.56 | 2.37*2.58*1.56 | 2.57*2.88*1.56 |
| 整台重量(kg) | 3260 | 3750 | 4520 |
| Z轴运动行程 | 200mm |
| X/Y轴速度 | 300mm/s |
| 光学系统 |
| 变倍镜头 | 进口 倍率 0.7X～4.5X |
| 光源 | 表面光源-LED表面环形光源 底光源-LED新型直线光源 |
| 光学尺分辨力 | 0.5μm |
| X/Y示值误差 | (4+L/200)μm |
| 摄像机 | 彩色1/2"CCD摄像机 |
| 激光平面度测量 | 重复性3μm(选配激光位移器时) |
| 物方视场 | 11.1mm～1.7mm |
