FPD/LSI检查显微镜
ECLIPSE L300N 反射专用型
ECLIPSE L300ND 透反射两用型
集尼康光学技术于一身的CFI60光学系统，在亮度、对比度和可操作性能方面都达到新的高度，适合于大直径硅片或大型液晶板的检查。
观察样品:ECLIPSE L300D 300 mm硅片； ECLIPSE L300ND 300 mm硅片。 观察倍率15X～3000X（视目镜和物镜的组合而定）； 使用CFI60光学系统，彻底消除耀斑影响，对比度更高，成象更加清晰、明亮； 物镜齐焦距为60mm，可以兼顾高数值孔径和长工作距离两方面的要求； 主机刚性高，具有很好的抗振性能，具有防尘、防污染、防静电功能； 光亮调节、孔径调节、物镜转换等操作都集中在前面，使用方便，即使长期操作也不易产生疲劳；
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L300ND/反射.透射照明两用型
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规格 | ||
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ECLIPSE L300N |
ECLIPSE L300ND |
| 主机 |
内置12V-50W卤素灯光源；内置用于电动控制器的电源 | |
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物镜转换器：具备物镜转换器 | ||
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反射/透射切换器 | |
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调焦部分 |
对焦部:行程29mm | |
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反射照明部 |
12V50W高亮度卤素灯照明装置 | |
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透射照明部 |
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12W50W高亮度卤素灯照明装置 |
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接口 |
USBx1，RS232C（用于Intensilight)x1 | |
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镜筒 |
L2-TTA超大视场正立调倾式三目镜筒（视角0～30°） | |
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目镜 |
CFI目镜 | |
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物镜 |
CFI60系列物镜 | |
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载物台 |
14x12载物台、行程354mmx302mm（透射观察范围：354mmx268mm） | |
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防静电功能 |
从1000到10V放电时间在0.2秒以内 | |
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耗电 |
1.2A/90W | |
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尺寸 |
约360(W)x581(H)x951(D)mm（倾斜角度为10°时） | |
