优势：
高品质相位补偿
氙灯光源强度优化系统
退偏纠正
自动可变入射角度
背照式CCD光谱采集系统
自动XYZ载物台、真空吸附
技术规格
波长 |
300 - 900nm（其余可选） |
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Y、D |
0.001°、0.01° (90° 时50次测量标准差) |
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长期稳定性 |
TanY = ±0.001；CosD = ±0.001(90°超过1小时的测量) |
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膜厚 |
±1 ? for 100 nm SiO2 on Si |
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折射率 |
± 5x10-4 for 100 nm SiO2 on Si |
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厚度范围 |
0.1nm-200μm |
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灯源 |
日本滨松光子氙灯（含强度自动优化系统以自动选择合适光强） |
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模型 |
Cauchy、EMA等 |
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光学结构 |
PSCA |
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高稳定度补偿器C；CosD=1 附近有较高 |
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起偏器P、补偿器C、检偏器A的位置自动跟踪、以及自校准功能 |
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光斑 |
<<1 mm；≈60 μm |
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分析 |
含退偏纠正 |
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光谱仪 |
背照式CCD、-15℃真空制冷 |
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入射角 |
10° - 90°连续可变追踪布鲁斯特角；0.0002° |
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自检 |
90°自动校准；包括原始测试波形的自检 |
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维护 |
自动的内部维护程序，检查部件是否在正常工作 |
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数据库 |
各种电介质、薄膜、晶体及非晶半导体、金属等的NK文件（数万种）
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