创新设计完美全面的清洗解决方案。Evactron CombiClean 清洗系统为SEM/TEM/FIB/其他分析设备提供了桌面式清洗平台，帮助客户清洗样品以及电镜部件，去除其存在的碳污染问题。同时也提供了外置等离子发生器用于电镜腔体清洗方案。系统操作简单，检测器可以智能控制多个等离子发生器单元，控制器自由切换可以通过不同发生器的工作模式。系统支持旋叶机械泵，从而防止油污染。提供干燥氮气保护环境，保证经等离子清洗过后的样品可以长期保存，此时不影响其他等离子发生器的使用。
应用Evactron CombiClean 系统可以提供外置式等离子发生器，用于扫描电镜、透射电镜和双束电镜，同时也可以清洗透射样品杆以及气塞。结合使用Evactron TEM Wand 透射电镜等离子清洗杆，可以清洗透射电镜样品、部件以及真空腔内部。系统特性 系统通过内部的处理器，由MicroPirani 软件对于真空度以及功率进行智能控制。处理器可以对等离子发生器进行定时清洗控制以及氮气保护循环。系统保留操作日志。操作可以通过前置面板或者电脑完成。
特点介绍
等离子漂洗技术：安全清除碳氢化合物污染同时不破坏敏感的材料，可以使用在电子显微镜内部部件（如X-ray探测窗口）
每星期十分钟的清洗保证整套系统的清洁度
系统问世以来已有1100客户在使用我们安全有效的系统
一体式设计：
结合了Evactron25控制器及真空室的清洁解决方案
结合了Evactron电子显微镜原位清洁和桌面式样品以及零件的清洗
多功能便携设计
多种气体选择：
使用成本低，可以使用空气，也可以使用氢气、氧气、氩气等常见气体
也可用其他非腐蚀性气体，包括对敏感样品也可以进行刻蚀
氮气净化：
防止油气回流，也可以兼容旋叶泵
允许在清洗室储存样品，防止样品被二次污染
内部和外部等离子发生源：
使用内部等离子发生源清洗电镜部件，TEM样品杆和样品
可以使用外部等离子源清洗SEM, FIB和TEM或者其他分析设备的腔体内碳氢污染物
简单使用开关就可以切换内外等离子发生源
多种TEM样品杆兼容口：
允许同时清理两个透射电镜样品和样品杆，避免二次污染或损坏样品
两个水平的TEM样品杆清洁口 (清洁口型号可选)
上部顶加载方式：扫描电镜样品可以简易安置在高度可调的内部平台上
Overall Dimensions: H, W, D – 8.25" x 25.7" x 10.6", (210 mm x 652 mm x 270 mm) • RF Power: 0-30 Watts at 13.56 MHz • Status LEDs: Power, RF On, Plasma ON, Faults, Local and Remote • Front Panel Display for operating conditions and status • Encoder Knob and Enable/Disable button for Front Panel Control Plasma Radical Source Selection Switch • Computer control with RS 232 I/O, DB9 Connector, Null Model Cable, 56k Baud GUI with Event Log • C Communication Library for software integration • Internal Plasma Radical Source (PRS) with RF Match • MKS MicroPirani Transducer for vacuum pressure measurement and vacuum interlock • Optional remote computer interlock • Electrically adjusted metering valve for flow/pressure adjustment • RF power interlock prevents starting when out of vacuum pressure range • Fault display and readout • Nitrogen purge feature • 100-240VAC 50/60 Hz input
