- 企业类型：制造商
- 新旧程度：全新
TDM-300/TDM-200(Pro)膜层监控仪适用于高频溅射、直流溅射、电阻蒸发、离子束、电子束等镀膜应用场合，可对共沉积镀膜进行多源同步监控，或对大面积镀膜进行多点监控。仪器提供了完备的监测和控制功能, 具有高速高测量系统，保证镀膜的质量和重复性。通过液晶显示屏使您能连续获取沉积数据，包括沉积速率、厚度和晶片频率。更可通过计算机得到实时数据及动态和静态数据曲线，方便用户对工艺过程进行分析。 ▲ 适用于多种镀膜应用 TDM-300/TDM-200(Pro)膜层监控仪可对多六个沉积源同时进行监控。既可应用于对大面积镀膜进行多点监控，监控镀膜均匀性；也可用于监控共沉积镀膜，而且用户可以编辑含有若干共沉积层和单一材料层的膜系；还能作为多台顺序沉积监控仪使用。 ▲ 多种监控方式 可以对连续镀膜以自动或手动两种方式进行监控。 ▲实现多源监测 可同时或分别监测二、四或六个沉积源。用户可根据实际需要进行选型。 ▲强大的系统接口 具有一组共二、四或六个输出接口，可分别控制二、四或六个源挡板。用户可根据实际需要进行选型。 ▲高度重复性 具有高速高测量系统，保证镀膜的质量和重复性。 ▲大容量数据存储 提供了较高的数据存储能力,可存储99个膜层，并内置256种材料参数方便用户使用。 ▲全中文人机界面 TDM-300/TDM-200(Pro)膜层监控仪采用全中文人机操作界面,易于使用。 ▲安装方便备有适配电缆，易于安装至现有的装置中，方便替换其它制造厂的产品。 规格
| 测量 频率计算 0.1Hz/0.03Hz(在6.0MHz频率时) 频率显示 0.1Hz 测量速率 10Hz 显示 厚度显示 000000?～999999? 速率显示 000.0～999.9?/s 时间显示 00:00:00～23:59:59（时:分:秒）层数 01～99层图形显示 240x64LCD，低功耗LED背光（TDM-200 PRO） 320x240LCD,低功耗LED背光（TDM-300） 存储能力 层 99层材料库 已定义256种材料 膜层参数 层次 01～99 终厚 000000～999999? 材料 分子式密度 00.00～99.99g/cm3 工具因子 00.00～99.99 Z因子 00.00～99.99 探头 A、B（C、D、E、F可选）同步沉积 “否”或 “是” | 系统参数 镀膜方式 “单层”、“多层” 控制方式 “手动”、“自动” 启动延迟 00:00～99:99(分:秒) 多通道方式 “独立”或“联合” 输出控制能力 源挡板数量 2、4或6个可选 (探头挡板可共用相应端口) 监控能力 源 2/4/6 (可选) 通信 通讯接口 标配RS-232串型口 其它 供电要求 220V（±5%），50Hz， 功率<30W 工作温度 0℃～50℃ 仪器尺寸 TDM-200 PRO： 89 x 484x330（高x宽x深） TDM-300： 133.5x484x330（高x宽x深） 可用于19’标准工业机架。仪器重量 5.0Kg/6.0Kg |
