标定版,标定板的详细信息
※ 标定板厚度可选1.6mm，2.3mm，3.0mm，4.8mm； ※ 1级指图形尺寸与图形位置为±1.0μm，2级指图形尺寸与图形位置±2.0μm，3级指图形尺寸与图形位置为±3.0μm； ※ 产品刻画图案可在标准产品基础上定制。