而三极型溅射离子泵

• 类型：单相电能仪表
• 分辩力：(μm)
• 台面荷重：(N)
• ：(%)
• 基本电流：、、、、(A)
• 参比电压：——(V)
• 量程：——(%)
• 尺寸：**(mm)
• X行程：
• 电流倍率：
• 台面大小：
• 档位：
• 解析力标准：
• 线性：——(%)
• 重量：(kg)
• 装箱数：(个/箱)
• 电流：(A)
• 频率：——(Hz)
• 位移驱动：
• 显示方式：
• 重现性：
• 准确度等级：

正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。ZJ型罗茨真空泵主要由一对同步高速旋转的“8”字形转子与两个半圆形的泵腔组成。该泵不能单独排气，必须与前级泵（如滑阀泵、旋片泵、水环泵、油环泵等）串联使用。在前级泵进气口前面串联上ZJ型罗茨真空泵组成机组可提高前级泵的真空度，在有效荼范围内呆大大提高抽气速率。罗茨真空泵的极限压力由前级泵决定，表中数据为标准配置（配用双级油封式机械真空泵）时的极限压力。螺杆真空泵广泛使用于真空浇铸、真空熔炼、真空脱气、真空镀膜行业及化工医药行业的真空蒸馏、真空干燥等。ZJ型罗茨真空泵对小量灰尘不敏感。液环真空泵（水环式真空泵）2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等。气体捕集泵包括：吸附泵和低温泵等。产业中应用多的是水环式真空泵和旋片式真空泵等。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。假如要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。