匀胶机 Spin Coater 品牌:MIDAS MIDAS为匀胶机(又称为旋涂仪、甩胶机、Spin Coater等)的国际品牌,目前用户超过1800台,在高校、研究所及半导体产业享有很高的声誉,是行业。 技术规格:
项目 Item | 技术规格 Specification |
时间 Time | 1~999秒,可调节 |
基底尺寸 Substrate Size | ~ 4英寸/~6英寸/~8英寸 |
卡盘旋转速度 Chuck Rotation Speed | 300~8000 rpm,直流伺服马达/交流伺服马达 |
匀胶状态 Spin State | 50步,20个方案控制(数字程序编辑) |
碗腔尺寸 Bowl Size | 8英寸,铝(经阳极氧化工艺)/12英寸,SUS |
增/减速率 Accele/deceleration Rates | 可调节 |
真空卡盘 Vacuum Chuck | 铝(阳极氧化),乙缩醛(Acetal) |
电源 Electrical Power | 220V, 5A |
无油真空压力泵 Oilless Vacuum Pump | - 650 mmHg |
尺寸(mm) Dimension | 230 X 340 X 260 / 390 X 570 X 280 |