石英晶体膜厚控制仪的详细信息
SQC310石英晶体膜厚控制仪系列为您提供其它生产厂薄膜控制仪所没有的性能与特色。同时可为您的应用选择理想的模式：顺序镀膜（SQC310）或共镀膜（SQC310C）。用于顺序镀膜，SQC310石英晶体膜厚控制仪装备有2个传感器输入，2个源输出，和8个数字输入／输出，提供为这些数量加倍的扩展插件板选件用于共镀膜，SQC310石英晶体膜厚控制仪监测多至4个石英晶体传感器，带有4个PID控制输出，16个数字输入，和16个继电器输出，与SQC310的规范相同。
■高亮度，VGA活性点阵彩色LCD显示器–可显示英文或中文。
■标准RS-232和USB（有以太网选件）。
■易设置和操作，有“快速设置”菜单，6个上下文-敏感的按钮，和方便的参数设定旋钮。
■Window程序用于开发，测试，和工艺过程，和将仪器数据记录至您的PC上，用于过程分析与质量控制。
■的过程控制，尤其用于低淀积率，在10读值／秒时的分辨率为±0.03Hz，在0至50°C温度范围内的频率稳定性为±2ppm。
■贮存容量高至100个工艺过程，1，000个膜层，50个膜系。
■用单传感器或多传感器监测源材料，提供的源分布监测。
