SHI APD公司的Marathon® CP系列低温泵专门设计用于高真空系统。因其洁净无污染、效率高、抽速大、高性等突出优势，被广泛的应用于科学研究实验室、乃至工业生产等众多领域，如半导体材料制作、平板显示器生产/测试设备、太阳能制造业、真空镀膜、热真空系统等。
低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵是获得清洁真空的限压力、抽气速率的真空泵，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。 
| CP-8 低温泵 | CP-8LP 低温泵 | CP-250LP 低温泵 | CP-12 低温泵 | CP-16 低温泵 | CP-20 低温泵 | SICERA 8" 低温泵 | SICERA 12" 低温泵 | ||
抽速 | 空气 | 1500 | 1800 | 3060 | 3600 | 4800 | 9700 | 1500 | 3300 |
| 水蒸汽 | 4200 | 4200 | 6300 | 9860 | 17,300 | 29,100 | 4000 | 9500 | |
| 氩气 | 1250 | 1500 | 2500 | 3100 | 4100 | 8300 | 1200 | 2700 | |
| 氢气 | 2300 | 3000 | 5000 | 7300 | 12,000 | 14,000 | 2200 | 6000 | |
| 吞吐量 | 氩气(托-升/秒) | 11 | 11 | 11 | 12.6 | 11.4 | 1.3 | 8.9 | 8.9 |
| 氩气 | 870 | 870 | 870 | 1000 | 900 | 900 | 700 | 700 | |
| (sccm) | |||||||||
| 吸附能力(标升) | 氩气@ | 1200 | 1600 | 1600 | 3100 | 5500 | 6000 | 1000 | 2000 |
| 1 x 10-6 托 | |||||||||
| 氢气@ | 25 | 25 | 25 | 50 | 50 | 33 | 12 | 30 | |
| 5 x 10-6托 | |||||||||
| Crossover (托-升) | 220 | 220 | 220 | 650 | 500 | 400 | 150 | 150 | |
| 降温时间 (分钟) | 75 | 110 | 110 | 90 | 135 | 190 | 120 | 150 | |
| 接口法兰 | ANSI | 6" | 6" | N/A | 10" | N/A | 20" | N/A | N/A |
| ISO | 200 mm | 200 mm | 250 mm | 320 mm | 400 mm | 500 mm | N/A | N/A | |
| Metal Seal (Conflat) | 10" | 10" | N/A | N/A | N/A | N/A | 253 mm | ||
| CVC | N/A | N/A | N/A | 10" | 10" | N/A | N/A | N/A | |
