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三维冲撞仪随着工业自动化水平的不断发展，产品质量监测、控制手段已经成为保证产品质量标的不可缺少的一环。许多对装配有较高要求的产品容感式加速度传感器内部也存在一个质量块，从单个单元来看，它是标准的平板电容器，加速度的变化带动活动质量块的移动从而改变平板电容两极的间距和正对面积，通过测量电容变化量来计算加速度。而热感式加速度传感器内部没有任何质量块，它的中央有一个加热体，周边是温度传感器，里面是密闭的气腔，工作时在加热体的作用下，气体在内部形成一个热气团，热气团的比重和周围的冷气是有差异的，通过惯性热气团的移动形成的热场变化让感应器感应到加速度值。由于压电式加速度传感器内部有刚体支撑的存在，通常情况下，压电式加速度传感器只能感应到"动"加速度，而不能感应到"静态"加速度，也就是我们所说的重力加速度。而容感式和热感式既能感应"动"加速度，又能感应"静态"加速度。由于没有任何移动部件，而且采用了微机械加工技术，热感式加速度传感器的研发过程中解决了很多加工上的难题。目前已经实现生产成本低，抗冲击能力强，而且可靠性好，失效率低于10ppm。 热感式加速度传感器体积小，低功耗，工作电流应在2mA以下，主芯片接口具备标准的数字接口模式。可以提供两个方向的加速度值，采用两片即可实现三维加速度值测量。
