- 品牌/商标：OTSUKA
- 新旧程度：全新
- 原产地：日本
- 紫外到近紅外光領域的反射光譜，適用於多層膜量測、光學常數分析的光干涉式膜厚儀。
- 以光為量測媒介，非接觸式、不破壞樣品的高再現性。
- 190nm~1600nm的大範圍波長解析。
- 1nm~250μm薄膜到厚膜的全般對應。
可對應顯微鏡下的微小量測範圍。
平面顯示器
?液晶顯示器、薄膜電晶體、OLED
半導體、化合物半導體
?矽半導體、半導體雷射、強誘電、介電常數材料
資料儲存
?DVD、錄影機讀取頭薄膜、磁性材料
光學材料
?濾光片、抗反射膜
平面顯示器
?液晶顯示器、薄膜電晶體、OLED
薄膜
?抗反射膜
其它
?建築用材料
| 薄膜專用型 | 厚膜專用型 | ||
| 膜厚量測範圍 | 1 nm ~ 40 μm | 0.8 ~ 250 μm | |
| 長量測範圍 | 190 ~ 1600 nm | 750 ~ 850 nm | |
| 感光元件 | 光電二極管陣列 512ch | 矩陣型CCD影像感測器 512ch | 光電二極管陣列 512ch |
| 光源規格 |
D2/I2（紫外-可視光）、D2（紫外光）、I2（可視光） |
I2（可視光） | |
| 電源規格 | AC100V±10V 750VA（自動平台驅動部分） | ||
| 尺寸 | 481（H）×770（D）×714（W）mm（主體部分） | ||
| 重量 | 約96kg（主體部分） | ||
