为了提供一种快速、可靠的在未切割的晶圆片上获得力学数据的方法，我们的工程师开发出一种强大的解决方案— NANO Indenter XPW。配备一个可以支持试样直径达300毫米的样品台，该产品基本上可以满足所有的工业需求。
基于业已成熟的 NANO Indenter 技术，XPW 对表面的表征可以达到几个纳米的量级。该尺度上的性质，例如硬度与弹性模量对半导体装置的产量、效能及寿命有着显著的影响。作为一个独特的系统，产品具有实用设计 、易于使用、简化测试的软件接口、以及快速、简洁的样品装载特点。采用23位电子仪器及超常的数据采集速率，NANO Indenter XPW为您提供在仪器化纳米压痕系统上可获得的准确的数据。
类似于其它纳米压痕系统，XPW 使用金刚石压头产生一个可控的压痕。随着连续监测压头的位移数值，设备产品可提供测试样品的硬度、杨氏模量、断裂韧性以及其它力学性质和数据计算等。
Nano Indenter XPW 能够配置可选真空样品固定系统，这里显示的是一个6英寸的晶圆片样品台。
NANO Indenter XPW 采用软件控制，使用简单。操作人员仅仅需要决定在什么位置压痕，以及进行什么样的实验。XPW 就可以自动进行实验测试，确保每个测试是一致的、合理的并且是准确的。
系统部件 NANO Indenter XPW 测试系统包括以下元件： 压痕组元 带鼠标控制的机械化样品操作台 振动隔离台及环境隔离 光学成像系统 带帧取样软件的像机 预置金刚石压头(Berkovich) 软件控制、自动定位 包括计算机、监视器、键盘以及全自动的数据采集与控制系统(基于 Windows 系统) 全套 TestWorks 操作与数据分析软件 彩色喷墨打印机 快速、准确的纳米力学表征 快速、准确生成实时的测试结果 无需切割，节省时间与成本 全自动测试－仪器运行无需照管 自动以 Microsoft Word 和 Microsoft Excel 格式测试结果
特色与优势
