FX型系列分子泵机组是分子泵,前级机械泵，隔断放气阀，前级管路、分子泵电源，控制电源等组装于机架而成的清洁超高真空获得设备。安装方便，操作简单，易于联接，性能可靠，可广泛用于表面分析，加速器技术，半导体设备，等离子体技术，电真空器件的制造及真空技术各领域。
FX分子泵机组技术性能:
产品型号 FX-110 FX-620
进气口法兰 DN100LF/DN100CF DN160LF/DN160CF
抽气速率L/S（对空气） ＞110 ＞600
压缩比??? N2
????????? H2 ＞108
5×102 ＞109
6×103
极限压强（Pa） 6×10-6/6×10-7 6×10-6/6×10-7
排气口法兰 KF25 KF40
使用轴承 精密机械轴承 精密轴承
输入电压频率（V/Hz） 220±20/50 380±20/50
环境温度（℃） 0～40 0～40
前级泵型号 TRP-4 TRP-6
启动时间（min） ＜3 ＜5
额定工作转数（rpm） 42，300 27，000
冷却方式 水冷可风冷 水冷
安装方式 任意 任意
重量（公斤） 52 -
长×宽×高 500×510×685 -
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