| 型号 | ID-3M | 重量 | 约400kg（kg） |
| 外形尺寸 | 974×851×1330mm（mm） | 产地 | 日本 |
| 品牌 | MALCOM | 包装 | 木箱 |
可采用2D/FULL3D进行高测定
【特点】
采用彩色高速相机和多种类照明,基本性能大幅度提高
●多用途
可进行2D/3D测定,因为可以以PIN为单位来指顶3D的测定区域,因此可以根据目的使用各种各样的程序
●高性价比
根据并用2D/3D的事，一边持(有)真正的3D图解测量机能一边实现了2D测量机级的高性价比。
●彩色多照明
上面和侧面采用的可变化1677万中颜色的彩色LED光源,根据基板的种类,选择适合的颜色,进行准确的测定。
●丰富的周边程序
由于专用应用软件支持从被要求的数据的作成到测量结果的验证。
【规格】
项目 | 规格 |
测定项目 | 面积,偏移量,高度,体积(3D图形) |
照相机 | 彩色数字照相机 |
测定分辨率 | 8.5μm、17μm（固定、订货时指定） |
视野 | 9.75×7.5mm（8.5μm分辨率时） |
照相方式 | 上、横、2方向1677万色可变可能,多彩色LED可以从上面和侧面2个方向变化1600万颜色 |
激光 | 半导体激光(细长形状) |
测定速度 | 2D测定时：0.35sec/视野 835mm2/sec（17μm分辨率时） |
测定基板外形尺寸 | 50×50mm～250×330mm |
基板厚度 | 0.5～3.2mm（搬送台可） |
有效范围 | 基板尺寸-3mm |
相反范围 | ±2.5mm |
装置外形尺寸 | 974×851×1330mm |
本体重量 | 约400kg |
电源 | AC100V 2KVA以下 |
空气 | 0.5MPa |
