原理
利用白光干涉测量法的原理，NanoCalc-2000用一个宽光谱的光源来测得不同波长的反射数据，由于反射率n和消光系数k随膜厚的不同而变化，NanoCalc-2000根据这一特性来进行曲线拟合从而求得膜厚。在NanoCalc-2000中，不同类型材料的相应参数通过不同的模型来描述，从而保证了不同类型材料膜厚测量的准确性。
特点
- UV/VIS/NIR高分辨率的配置
- 测量准确度在1nm，在0.1nm
- 可测量4层薄膜的任意3层
- 薄膜测量小可至10nm，可至400um
- 可测量小1nm厚的透明金属层
- 提供用于复杂外形材料测量的试验台及附件
- 对表面缺陷和光滑度不敏感
- 庞大的材质数据库，保证各种材料的测量
技术参数
