●可配国内外各个厂家的直线电机和光栅尺
●可配国内外各个厂家的直线电机驱动器、控制卡、工控机
●可选购重防护型,用于精密超精密生产设备
●上面可以装气浮转台(θ)
●可以增加Z向
●上面可以装微动台和反射镜,配合激光干涉仪,达到纳米级
●可提供订制服务,提供不同行程、承载、速度和的一维气浮工作台
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●可选购重防护型,用于精密超精密生产设备
●上面可以装气浮转台(θ)
●可以增加Z向
●上面可以装微动台和反射镜,配合激光干涉仪,达到纳米级
●可提供订制服务,提供不同行程、承载、速度和的一维气浮工作台