| 品牌 | YOKOGAWA | 型号 | OX400 |
| 类型 | 泵吸式氧气检测仪 |
OX400可用于控制和监视各种半导体应用，并控制环境，空气泄漏入惰性气体及其他过程。
用于半导体扩散炉和烘干炉，以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制，用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度，以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中氧气浓度的测量，测量氧气浓度，防止粉尘运输中粉尘爆炸。
主要技术参数：
测量对象 | 惰性气体中的氧气浓度 | ||||
测量系统 | 氧化锆系统 | ||||
采样方法 | 泵式、抽提式等 | ||||
样气条件 | 流速：200±25ml/min(仅适用于传感器) | ||||
测量量程 | 0～10ppm O2至0～100vol% O2 | ||||
输出量程 | 自动： | 0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，0～100%(默认) | |||
固定： | 设为0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，或0～100% | ||||
部分： | 可设置下限值或上限值 | ||||
模拟输出 | 2路输出，第一路：4～20mA DC(负载电阻550Ω)，第二路：可选为0～1，0～5，0～10V DC(负载电阻：10kΩ或更大) | ||||
接点输出 | 报警输出2点： | 错误接点，O2浓度报警接点 | |||
指定量程范围输出1点： | 接点输出 | ||||
多选择器(选配件)： | 流路切换接点输出和测量中流路信息接点输出 | ||||
接点输入 | 1点：采样气体吸入泵的远程ON/OFF | ||||
自诊断 | 故障： | 传感器错误，加热器温度错误，温度传感器断开，设备温度错误，CPU错误，FAN停止 | |||
报警： | 加热器不稳定，传感器错误，电动势异常，非对称电压错误错误，标定错误，传感器电阻错误，O2浓度上/下限，超限 | ||||
串口通信 | RS-232，38400 bps | ||||
标定方法 | (1)3点：10ppm，1000ppm，空气，(2)2点：可设定为零点气和量程气标定，(3)1点，(4)空气标定 | ||||
暖机时间 | 20分以内 | ||||
电源 | 100～120V AC/220～240V AC，50/60Hz | ||||
功耗 | 100～120V AC，200VA ，220～240V AC，400 VA | ||||
尺寸 | 213 (W) x 132 (H) x 约375 (D) mm | ||||
质量 | 约5kg | ||||
管线连接 | 气体入口：Rc1/4或1/4NPT内螺纹 | ||||
环境条件 | 安装条件： | 室内，盘装或壁装，非易燃区域 | |||
环境温度： | 0～40℃，无结露 | ||||
环境湿度： | 5～85%RH | ||||
储存温度： | -5～50℃ | ||||
重复性 | ±1%F.S.(10，100，1000 ppm，1%，10%或100%) | ||||
线性 | ±2%F.S. | ||||
响应时间 | 90%响应 | ||||
漂移 | ±2%F.S./周 | ||||
