品牌 | Aalborg | 型号 | DFC |
测量范围 | 5SCCM ~ 1000SLPM |
设计特点: 工作原理: 被测量气体被分成两条层流通道,一条经过主通道,另一条经过毛细感应管。两个通道保证在层流装tia,所以他们的流量比率恒定不变。两条热的温度线圈缠绕在感应管上,当有气体流过的时候,气体就把热量从上游带到下游的线圈。温度变化与线圈的电阻改变成比例关系。
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品牌 | Aalborg | 型号 | DFC |
测量范围 | 5SCCM ~ 1000SLPM |
设计特点: 工作原理: 被测量气体被分成两条层流通道,一条经过主通道,另一条经过毛细感应管。两个通道保证在层流装tia,所以他们的流量比率恒定不变。两条热的温度线圈缠绕在感应管上,当有气体流过的时候,气体就把热量从上游带到下游的线圈。温度变化与线圈的电阻改变成比例关系。