| 品牌 | 硅谷 | 型号 | FS1015 |
| 种类 | 流量 | 材料物理性质 | 半导体 |
| 材料晶体结构 | 多晶 | 制作工艺 | 集成 |
| 输出信号 | 线性，模拟0.5~4.5V（可选RS232） | 防护等级 | IP65 |
| 线性度 | ?（1.5% 0.2%FS）（%F.S.） | 重复性 | ±0.75%（%F.S.） |
| 漂移 | 0.12 |
简介
FS1015系列微机电气体质量流量传感器是专门为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。
产品优特点与应用
1、传感器灵敏度高，有极小的始动流量
2 、持多种连接方式，易于安装与使用
3、传感芯片上实现了多传感集成，使其量程比达到了100：1甚至更高
4 、输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压
5 、零点稳定高
6 、全量程高稳定性、高度和优良的重复性
7、低功耗、低压损<1300pa
8 、响应速度快
