| 品牌 | 美国MKS | 型号 | 1559A |
| 类型 | 质量流量计 | 测量范围 | 3.4（m3/h） |
| 等级 | 全量程的1% | 公称通径 | 6.35（mm） |
| 适用介质 | 气体 | 工作压力 | 0.35（MPa） |
| 工作温度 | 45（℃） |
质量流量控制器（大流量，常闭阀）
1559是一种通用型弹性密封的质量流量控制器，可在20slm(42.5cfh)到200slm(425cfh)量程范围进行气体的质量流量控制。相比于其它的大流量控制器，1559独有的控制阀门能够消除振荡、具有更好的响应时间。它的这个特点是通过使用一“平衡力”阀门的设计来实现的，它能够消除管道压力引起控制阀门内部的非平衡状态。1559的为全量程的±1％。
例：型号1559A00421LS1BV
采购序列号
校准气体（SEMI气体编号）*
Helium, He 001
Argon, Ar 004
Hydrogen, H2 007
Nitrogen, N2 013
Oxygen, O2 015
**校准流量SLM－sccm（相当氮气200SLM）
20 021L
50 051L
100 12L
200 22L
装配件（Y）
标配：Swagelok 0.5英寸管 S
选配：SwagelokR8VCRR凸接头 R
选配：SwagelokR8VCOR凸接头 G
阀
常闭 1
电气/通讯连接器
模拟15针D B
密封（Z）
标配: VitonR V
选配: NeopreneR N
选配: BunaN B
选配: KalrezRR K
用于1559A的电缆线
CB259-5-10用来将1559连接至PR4000, 246, 247
（如要在247上连接2个以上的通道，需要添加一个电源，请用CB1559-1-10）
CB147-1-10用来将1559连接至146, 186, 647, 167
CB1559-1-M1用来连接1559A、247D和260PS
