| 品牌 | TOKYO KEISO 东京计装 | 型号 | P-821 |
| 类型 | 面积式流量计 | 测量范围 | 16.667~166.67（m3/h） |
| 等级 | ±5％(F.S.) | 适用介质 | 气体(空气) |
| 工作压力 | 0.8（MPa） | 工作温度 | 80（℃） |
概要
适于半导体生产过程中各种气体的测量。
体型小，广泛应用于半导体生产装置的中心设备。
标准规格
测量对象： 气体（空气）
测量范围： 参照下表
有効刻度范围： 10比1（部分10比2）
流量指示： ±5％（F.S.）
使用压力： 0.8MPa*
使用温度： 80°C
标准材料： 参照下表
标准材料
部品名 | 标准材料 |
本体 | SCS14 |
锥形管 | 耐热玻璃 |
浮子 | SUS316,玻璃,红宝石 |
垫圈 | 氟橡胶 |
阀门轴 | SUS316 |
阀门配件 | SUS316 |
阀门 | SUS316 |
侧板 | SPCC |
挡板 | 丙烯树脂 |
P-821系列标准产品规格表
产品编号 | 流体规格 | 制作条件 | |||
流体 | 流量范围 | 流量单位 | 阀门位置 | 规格 | |
P-821-A9 | AIR | 1～10 | L/min（nor） | 下 | 1atm、20℃ |
*标准现货测试压力为0.7MPa
