Aalborg 质量流量控制器MFC

度（包括线性度）

±1.5%满量程，包括59℉到77℉的气体温度（15℃到25℃）和5到60psia

（0.4到4.1bar）的压力。可选±1%满量程（鉴定校准量程）与给定的温

度与压力值有联系。

重复性

±0.5%满量程

回应时间

实际流速±2%超过满量程25-100%一般2秒

温度系数

0.15%满量程/℃

压力系数

0.01%满量程/psi(0.07bar) 

适宜气体压力

25 psig(1.73bar)

气体压力

1000 psig(70bar)

压差

GFC17和GFC37 50psi（3.4bar）

GFC47  40 psi（2.7bar）

气体和周围温度

41℉-122℉（5℃-50℃）

流体接触面材质

A：GFM铝系列为阳极电镀铝、316不锈钢、铜和维托圆环

B：GFM17S，37S，47S，57S，67S和77S不锈钢系列：316不锈钢、维

  托圆环、可选氯丁橡胶圆环。

方位灵敏度

水平到垂直旋转低于15度；标准校准是在水平位置

输出信号

线性度0-5Vdc,小1000ohms。负载电阻4-20mA 0-500 ohms回路电阻，噪音±20mA

命令信号

0-5 Vdc模拟模式  4-20mA远程模式

连接

GFC17和37：1/4”卡套螺纹  GFC17可选VCR^®或1/8”卡套螺纹         GFC47：3/8”卡套螺纹

GFC57：3/8”卡套螺纹

GFC67：1/2”卡套螺纹

GC77：3/4”FNPT螺纹可选VCR^®或3/4”卡套螺纹

传感器输出电源

+12 Vdc；200ohms。+24Vdc可选

电源保护

电路板有内置电极反转保护保险丝可以重新调整提供电源输入保护

显示

0.5”高，3-1/2数字LCD显示，

    Aalborg Instruments & Controls, Inc是世界上的气体质量流量计/控制气的生产厂家，其产品广泛用于微电子工艺、真空镀膜、 材料科学 、石油化工、医药、环保等领域。

    AFC型质量流量控制器是为显示和控制气体流量而设计的。

在标称范围内流量不受温度和压力的影响。

设计性能：

技术参数：

1.度: ±1% 满量程度FS (线性范围:气体T=15~25℃,压力=0.7~4.1bas);±2%F.S (线性范围:气体T=5~50℃,压力=0.35~10.3bars)

2.重复性: ±0.2%F.S

3.时间常数:  AFM系列—300ms

              AFC2600 (Qmax=15sL/min)—300ms

              AFC3600 (Qmax=50sL/min)—600ms

              AFC4600 (Qmax=100sL/min)—600ms

4.响应时间: AFM系列在设置流速(25~100% F.S)的±2%变化值之内的响应时间大约为1秒

5.温度系数: ±0.1%F.S/℃

6.压力系数: ±0.01%F.S/psi(0.07bars)

7.气体压力: 25 psig(1.73bars)

8.的气体压力: 500 psig(34.5bars)max.标准校正压力为20psig(14bars)进气口压力

9.气体和环境温度: 5℃~50℃

10.漏率:漏率1*10^-9smL/sec (He)

11.流体接触材料: 316或416不绣钢, Viton O型圈,备选O型圈:Neoprene或Kalrez

12.安装敏感性: 倾斜度不大于±15%,标准校正安装姿势为水平位置

13.输出信号:0~5V (2000Ωmin,负载阻抗);4~20mA(0~500Ω,线圈电阻)线性的直流电信号。的峰值噪音20mV

14.连接口: AFM/AFC2600,AFM/AFC3600 -1/4” compression,fittings, AFM/AFC4600 - 3/8” compression fittings.

          备选1/8” or 3/8” compression fittings or 1/4” VCR® fittings

15.传感器输入功率：AFM/AFC2600 ±15 ± 5% Vdc, 80 mA max,1.2W; ±15 ± 5% Vdc, 200 mA max, 3W;

       AFC3600/AFC4600 ±15 ± 5% Vdc, 220 mA max, 3.3W; ±15 ±5% Vdc, 600 mA max, 9W.

16.电路保护：电路具极性方向保护，可更换的保险丝提供电源输入保护。