| 品牌 | 天准 | 型号 | VMG |
| 分辨率 | 0.001(mm) | 测量行程 | 1520×1220×200(mm) |
| 放大倍率 | 236X | 操作方式 | 鼠标自动控制 |
| 型号 | VMG662 | VMG962 | VMG1292 | VMG15122 | |
| 行程(mm) | 620×620×200 | 920×620×200 | 1220×920×200 | 1520×1220×200 | |
| 外部尺寸(mm) | 1320×1040×1620 | 1620×1040×1620 | 2000×1400×1620 | 2300×1700×1620 | |
| 重量(kg) | 850 | 1100 | 1300 | 2000 | |
| 承重(kg) | 80 | 80 | 80 | 80 | |
| 测量 | XY轴* | E2=(3.0+L/200)µm | E2=(4.5+L/200)µm | ||
| Z轴** | E1=(5.0+L/200)µm | ||||
| 速度 | XY轴 | 300mm/S | |||
| Z轴 | 100mm/S | ||||
| 光栅尺 | Renishaw光栅尺,0.4µm分辨率 | ||||
| CCD | SONY 1/2"CCD黑白/彩色 | ||||
| 光源 | 轮廓光 | LED冷光源,256级亮度可调 | |||
| 表面光 | 6环8区LED冷光源,各段操控,256级亮度可调 | ||||
| 同轴光 | LED冷光源,256级亮度可调 | ||||
| 光学系统*** | Navitar 6.5:1可变倍,放大倍率29~163或58~326 | ||||
| 软件 | Vispec测量软件(高端版) | ||||
| 运动控制 | 自主的CNC直流伺服系统 | ||||
| 保修期 | 1年 | ||||
| 工作环境 | 温度20℃&plun;2℃,温度变化<2℃/hr,湿度30~80% | ||||
| 振动<0.002g,低于15Hz | |||||
| 电源 | 220V/50Hz/10A | ||||





