| 类型 | 平面干涉仪 | 品牌 | MYT |
| 型号 | QY-P-150, QY-P-200 | 品种 | 激光干涉仪 |
| 测量范围 | 平面 | 测量分辨率 | 高分辨率黑白显示器（10寸） |
| 近工作距离 | 350X280X800mm（mm） | 用途 | 平面类光学元件（包括玻璃、金属、陶瓷等）表面面形的测量 |
平面干涉仪
1、仪器规格参数表
| 产品型号 | QY-P-100 | QY-P-150 | QY-P-200 |
类型 | 菲索型 | ||
测试口径 | Φ100mm | Φ150mm | Φ200mm |
标准镜面形 | λ/20 | λ/20 | λ/15 |
标准镜材料 | 熔石英（康宁7980） | ||
光源 | He-Ne激光（632.8nm） | ||
光路切换 | 对准（十字叉丝）与测试（干涉场）模式电控切换 | ||
标准配件 | 高分辨率黑白显示器（10寸） | ||
供选配件 | 密封罩、衰减过滤片 | ||
仪器尺寸(长X宽X高) | 350X280X800mm | 380X300X1000mm | 420X320X1000mm |
仪器重量 | 75KG | 80KG | 100KG |
电源 | AC220V 50Hz | ||
（附注：更大口径平面干涉仪可依据客户需求定制）
2、仪器特点
- 高
标准镜高，且材料经过精密退火处理，稳定；
- 调整方便
可通过切换开关选择对准与干涉场两种显示模式，方便调整；
- 条纹真实
可调节共轭成像位置，得到清晰、准确、真实的干涉条纹；
- 性能优良
仪器具备良好的隔振性能，适合光学加工现场使用；
- 配件丰富
选配简易密封罩，可将测试腔与外界气流隔离，降低测试过程中气流扰动，判断的准确性。
3、仪器操作流程
3.1、基本操作
- 仪器初始化
开机后稳定15分钟，使激光器模式稳定；将仪器右侧的转换开关切换至“对准调整”显示模式，标准镜反射光点位于十字叉丝。
- 光路粗调
将待测元件放置于载物台上，将转换开关切换至“对准调整”显示模式，调整载物台的两维角度调节旋钮，使待测面反射光点与标准镜反射光点在十字叉丝中心重合。
- 光路精调
将转换开关切换至“干涉图”显示模式，此时器上已经可以显示出密集的干涉条纹，微调标准镜调整架的两维角度调节旋钮，将视场内的干涉条纹调整至3~5根。
- 条纹判读
依据GB 2831-81（光学件的面形偏差检验方法），并结合我们为客户制作的“干涉图与波像差对比图”（见附录），进行条纹判读。
3.2、操作
- 干涉图清晰度调节
通过调整标准镜旁边的“共轭调节旋钮”，使干涉图清晰的显示在器上。仪器在出厂之前已经校正到成像位置，一般情况下不需要进行重新调整。
- 干涉图对比度调节
当待测表面镀高反膜时，干涉条纹对比度会较差，此时推荐选配衰减过滤片，将其待测元件与标准镜之间衰减光强，可获得良好的条纹对比度。