类型 | 白光干涉仪 | 品牌 | SNU |
型号 | SIS 2000 | 品种 | 其他干涉仪 |
测量范围 | 200×200×100(mm) | 测量分辨率 | 0.1nm |
用途 | TFT产业、半导体、MEMS、高校科研、精密加工 |
品牌: | SNU | 型号: | SIS 2000 | 操作方式: | 自动 |
功能: | 检测、观察、分析 | : | 1nm | ||
其它型号: | SIS 1200 | ||||
2、三维表面测量:表面高度测量范围为1nm-200μm。
3、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率:垂直分辨率可以0.1nm。
5、数字信号处理器:实现测量需要几秒钟。
6、扫描仪:采用闭环控制系统。
7、工作台:气动装置、震、压。
8、测量软件:基于windows 操作系统的用户界面,强大而快速的运算。
技术参数
机型 | SIS 2000 | |
工作台 | 尺寸 | 350mm×350mm |
倾斜度 | &plun;3° | |
测量行程 | X:200mm Y:200mm | |
Z轴行程 | 100mm | |
运动方式 | 自动,马达驱动 | |
扫描速度 | 30μm/sec | |
垂直分辨率 | 0.1nm | |
CCD | 黑白CCD,640×480像素 | |
物镜安装架 | 手动5个位移的可定位夹具 | |
镜头选配 | 镜头:5×、10×、20×、50× |
2、半导体
3、MEMS
4、高校科研
5、精密加工