美国BROOKS/MKS/UNIT/TYLAN/AE等品牌质量流量计

MKS1559A气体质量流量计

1559A大流量控制器
1559是一种通用型弹性密封的质量流量控制器，可在20slm（42.5cfh）到200slm（425cfh）量程范围进行气体的质量流量控制。相比于其它的大流量控制器，1559独有的控制阀门能够消除振荡、具有更好的响应时间。它的这个特点是通过使用一“平衡力”阀门的设计来实现的，它能够消除管道压力引起控制阀门内部的非平衡状态。1559的为全量程的±1％。

用于1559A的电缆线
CB259-5-10用来将1559连接至PR4000, 246, 247                                            
（如要在247上连接2个以上的通道，需要添加一个电源，请用CB1559-1-10）          
CB147-1-10用来将1559连接至146, 186, 647, 167                             
CB1559-1-M1用来连接1559A、247D和260PS    
 经销世界的MFC品牌有：Brooks,MKS,UNIT,Tylan,AE,STEC,Alicat等，品种规格齐全，同时经销的产品品牌包括：INFICON（膜厚控制仪、真空计/真空规、四极质谱仪、压强控制系统、氦质谱检漏仪、冷媒检漏仪、真空阀门），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；
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