产品功能
ZLM800微位移测量激光干涉仪——双频激光干涉仪，主要用于微位移部件的测量、角度变化量的监测、移动平台运动情况的检测、光刻机几何量的测量、数控机床几何量的测量等，多可实现六轴联动。也可通过位移+偏摆+俯仰的三角关系测量检测物体的振动变化。
性能优势
l 真正意义上的双频激光干涉仪，频差为640MHz。请用户注意“激光干涉仪”和“双频激光干涉仪”概念的区别，众所周知双频激光干涉仪更好、性能更稳定。世界范围内只有两家双频激光干涉仪的生产商，德国耶拿尔公司是其中的一家。
l 部件皆在德国生产制造，非为了降而在第三方进行部件加工。光学组件采用蔡司光学镜，是世界上一家将的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。
l 激光器寿命更长，可达20000小时，激光稳频高，一小时内为±0.002ppm，在产品寿命内可达±0.02ppm。
l 干涉镜采用差分干涉原理，系统更高，可达±0.4ppm。
l 计算机辅助光路调整，调整结果更准确。
l 采样频率更快，达1MHz，可在0.001Hz-1MHz之间进行选择。
l 被测物体速度16m/s（可选）；采用高AE950 PCI数据处理器，分辨率达0.6nm（当移动速度为1m/s时，线性分辨率更可为0.1nm）。
l 无加速度限制；当光线微弱时，性能也十分稳定。
l 信号<200ns；对电磁干扰不敏感。
l 对于多轴联动的复杂光路测量和微位移测量，ZLM800型是理想的选择。
技术参数 型号：ZLM800 使用数据处理器AE950 PCI He-Ne激光平均波长： 632.8 nm 激光稳频： 一小时2x10-9（±0.002ppm） 寿命内2x10-8（±0.02ppm） 系统（0-40℃时）： ±0.4ppm 光束直径： 6mm (可选3.2mm) 激光管突发输出功率： 1mW (激光等级2) 每束光可测量的轴数： 多6个 线性测量距离： 40m，可扩展为120m 角度测量范围： ± 15°，20m轴线范围 平面度测量范围： 20m行程 直线度测量范围： ± 5mm，2m或10m行程， 选用角度干涉仪可测30m行程 垂直度测量范围： ± 5mm，2m或10m行程， 30m行程需用角度干涉仪 速度： 4m/s，可选16m/s 80rad/s，角速度 加速： 无限制 采样频率： 内部1MHz，外部40MHz 预热时间： 10分钟 /非线性： ±0.3nm (角隅反射镜) ±0.1nm (平面反射镜) 距离测量分辨率： 0.6nm (角隅反射镜) 0.3nm (平面反射镜) 0.1nm 可选 距离测量： (20°±0.5°) 使用AUK时 (20°±0.5°) 真空中时 ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) 线性度测量分辨率： 0.6nm (角隅反射镜) 0.3nm (平面反射镜) 0.1nm 可选 线性度测量： (20°±0.5°) 使用AUK时 (20°±0.5°) 真空中时 ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) 速度测量： ±0.5ppm实测值 角度测量分辨率： 0.015μrad (3x10-3 弧秒) 角度测量： ±0.1ppm实测值 平面度测量分辨率： 0.015μrad (3x10-3 弧秒) 平面度测量： ±0.2%实测值 ±0.05 弧度/米运行距离 直线度测量分辨率： 36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 直线度测量： ±0.5%实测值，2m行程 ± 2.5%实测值，10m行程 垂直度测量分辨率： 36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 垂直度测量： ±0.5%实测值2m，± 0.5弧秒* ±2.5%实测值10m，± 0.5弧秒* 数据接口： 积分信号
32 Bit (实时时间)
Dt ? 20 ns数据分析标准： ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA 工作环境： 温度：15°C-30°C 湿度：<90%无冷凝 储存环境： 温度：10°C-40°C 湿度：<95%无冷凝
应用 以下是为某项目设计的ZLM800双频激光干涉仪两个应用。在个中，用两个3轴角度干涉仪分别两个摆镜的摆动，实时测试两个摆镜对应量（俯仰、偏摆和位移）的差异情况。在第二个中，用一个3轴角度干涉仪来测试摆镜的镜面摆动情况，2个单轴位移干涉仪检测一个两轴位移平台的运动情况。
下述是为国内某研究所某项目设计的ZLM800测量系统。用户预先把被测物体放置在密闭箱中，密闭箱留有观察窗口。所需要测量的数据是被目标Ⅰ、被目标Ⅱ的X、Y向的角度变化量，以及这两个目标在Z方向的相对变化量。.jpg)
ZLM800部分光路图示例和部件示意图
上海贝丁汉工业自动化设备有限公司
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