2、三维表面测量:表面高度测量范围为1nm-200μm。
3、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字信号处理器:实现测量仅需要几秒钟。
6、扫描仪:采用闭环控制系统。
7、工作台:气动装置、抗震、抗压。
8、测量软件:基于windows 操作系统的用户界面,强大而快速的运算。
技术参数机型SIS 2000工作台尺寸350mm×350mm倾斜度±3°测量行程X:200mm Y:200mmZ轴行程100mm运动方式自动,马达驱动扫描速度30μm/sec垂直分辨率