［SFT-110的主要特征］
1. 通过自动定位功能操作性
测量样品时，以往需花费约10秒的样品对焦，现在3秒内即可完成，大大样品定位的操作性。
2. 微区膜厚测量
通过缩小与样品间的距离等，致使在微小准直器（0.1、0.2mm）下，也能够大幅度膜厚测量的。
3. 多达5层的多镀层测量
使用薄膜FP法软件，即使没有厚度标准片也可进行多达5层10元素的多镀层测量。
4. 广域观察系统（选配）
可从250×200mm的样品整体图像指定测量位置。
5. 对应大型印刷线路板（选配）
可对600×600mm的大型印刷线路板进行测量。
6. 位
与以往机型相比，既了功能性又降低20%以上的价格。
［主要产品规格］
检测器： 比例计数管
X射线源： 空冷式小型X射线管
准直器： 0.1、0.2mmφ2种
样品观察： CCD摄像头
样品台移动量：250（X）×200（Y）mm
样品高度：150mm
