| 配置方式 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 立式、卧式配置 平面总成，球面总成 静态测量，相位移调制测量 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 附件 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 标准平面和球面参照镜 与ZYGOTM参照镜相容 标准衰镜 干涉仪支撑/调整用四脚座 参照镜倾斜调整座 水平七轴调整座 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| IntelliWaveTM分析 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 干涉条纹静态与相位移调制分析 完整的分析工具、影像加工、以及几何影像转换 干涉图转换成光学（OPD）或表面地图（surface map） 自动反复测量或自动化分析功能 相互连接Lab VIEW 、Research Systems IDL 、Math Work、Matlab和Microsoft Excel软件 1. 蜂谷值（PV ，Peak-to-Valley） 是取得长度上，测量高度点与点间的距离 2. 均方根值（RMS，Root-Mean-Square）是取样长度上，距离高度中心线的均方根偏差值。 3. 三平面检定方（3-Flat Test ）使用三个平面参照镜相互检测的测量方式。 4. 重复性（Repeatability）的定义：对相同的组件进行100次量测，而每组量数据是由20个数据平均后取得，100组测数据统计分析，定义重复性即是一个标准差值。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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东莞市东城锦兴仪器仪表经营部
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