鑫有研电子科技（北京）有限公司
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鑫有研电子科技（北京）有限公司
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经营模式：工厂
所在地：北京
主营产品：匀胶机;光刻机;离心机;无油真空泵;显微镜;韩国真空泵;旋涂仪;台式匀胶机;旋片真空泵;防暴真空泵;干式真空泵;油式高流量真空泵;
| 品牌 | siyouyen | 型号 | 121 |
显影机该机采用的单片微型机程序自动控制，显影质量好工艺条件稳定适应宜科研和生产单位大规模集成电路和其它半导体器件的光刻工艺中作显影之用。
本机显影工艺采用了的喷雾方式，可根据工艺要求喷雾状态电机的转数，程序时间的工艺参数都可在很宽的数值范围内调整，其程序为吸片、显影、漂洗、干燥、复位。
采用喷雾显影工艺后电路图形清晰完整，是对较细线条电路采用此工艺可得到很高的效果。
本设备除能实现显影工艺外亦可进行人工涂胶，工艺指标与匀胶技术相同
主要技术指标
型号:121
显影工位：一个工位
程序时间：显影1—99秒漂洗1—99秒干燥1—99秒
旋转器转数：500—8000转/分（连续可调）
硅片直径：Φ30—Φ75mm
净化效果：100级（美国联邦标准）
操作区风速：0.3—0.5米/秒
气流状态：垂直层流
外形尺寸：650Χ750Χ1620mm
