贝丁汉ZLM900LSI激光干涉仪不能够的测量数控机床的几何量,如线性度、直线度、垂直度、角度、平面度等,通过配合使用球杆仪,还能够测量数控机床的回转量。
产品特点:
1、外差式频率,光纤和光束一对一的干涉仪
2、高柔性校准模块
3、动态测量速度可达4m/s
4、实时时间测量
5、可扩展到六轴
6、用于3D也可快速调整
7、带磁性锁紧环的小反射镜
8、速度4m/s
9、标准分辨率1nm
10、精准度<50nm/m (使用高温度传感器)
11、用于笔记本
12、网络兼容
技术参数:
真空中氦氖激光器平均波长 |
632.8nm |
激光稳频 |
2*10-9,一个小时 2*10-8,寿命周期内 |
激光束直径 |
6mm (可选项3.2mm) |
扩展光束的输出 |
1mW (等级2) |
每束激光的测量轴数量 |
1,多可选6个 |
距离测量范围 |
40m,多可选120m |
角度测量范围 |
±15°,20m长 |
直线度测量范围 |
±5mm,2m或10m长时 |
速度 |
|
线性度 角速度 |
4m/s,可选项16m/s <320 rad |