PIEZOCONCEPT是生产纳米平台的行业，主要针对纳米平台与分辨率显微镜、光子捕获和原子力显微镜配套使用。我们的用户包括许多世界院校和机构中研究前沿科学技术的和学者。数十年来，科研人员电容传感器平台，但是很多的科研工作者都希望有一种更加稳定和线性的新型显微镜移动平台。为了稳定的要求，我们通过长时间的努力研发，终得到了更加精准和稳定的平台。我们提供一系列的稳纳米平台能够满大多数使用显微镜前沿研究。
我们产品的特点就是使用的传感器高端电容传感器，能够获得更强的信号，平台高稳定性。同时，我们采用低噪声电子和弯曲设计平台，能够亚纳米级本底噪声。
产品概述和特点
主要应用：
航天航空
显微与成像
技术
纳米技术
数据存储技术
图像处理
测量/检测
生物科学与生命科学
集成光学
激光加工与激光光刻
半导体技术
精密加工
技术参数
1轴纳米平台 | HS1
| HS1（带孔）
| FOC
| Z-INSERT
|
移动范围（μm） | 30/50/70 | 30/50/70 | 100/200/300 | 100?/200/300 |
分辨率（nm） | 0.03/0.05/0.07 | 0.03/0.05/0.07 | 0.1/0.2/0.3 | 0.1/0.2/0.3 |
本底噪声（nm） | 0.003/0.005/0.007 | 0.003/0.005/0.007 | 0.01/0.02/0.03 | 0.01/0.02/0.03 |
重复定位（nm） | 0.06/0.1/0.14 | 0.06/0.1/0.14 | 0.2/0.4/0.6 | 0.2/0.4/0.6 |
线性度 | 0.02% | 0.02% | 0.02% | 0.02% |
共振频率（Hz） | 4000 | 4000 | 500/350/250 | 500/450/350 |
刚度（N/μm） | 3 | 3 | 0.6/0.4/0.4 | 0.6/0.4/0.4 |
Max Load（kg）-横向 | 1 | 1 | 0.5 | 1 |
Max Load（kg）-横向 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
传感器 | 硅质高分辨率传感器 | 硅质高分辨率传感器 | 硅质高分辨率传感器 | 硅质高分辨率传感器 |
尺寸W*L*H（mm） | 62.5*69.5*12.6 | 62.5*96.1*12.6 | 53.6*64.2*34.5 | 109.8*159.8*19.1 |
材料 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 |
电源线长度（m） | 2 | 2 | 2 | 2 |
推荐控制器 | 标准或者控制器 | 标准或者控制器 | 标准控制器 | 标准控制器 |
2轴纳米平台 | BIO2
| LT2
| LFHS2
| LTHS2
| TT2
|
移动范围XY（μm） | 100/200/300 | 100/200/300 | 75 | 75 | 5 |
分辨率XY（nm） | 0.1/0.2/0.3 | 0.1/0.2/0.3 | 0.075 | 0.075 | 0.005 |
本底噪声XY（nm） | 0.01/0.02/0.03 | 0.01/0.02/0.03 | 0.0075 | 0.0075 | 0.0005 |
重复定位XY（nm） | 0.2/0.4/0.6 | 0.2/0.4/0.6 | 0.15 | 0.15 | 0.01 |
线性度 | 0.02% | 0.02% | 0.02% | 0.02% | 0.02% |
共振频率XY（Hz） | 500/400 | 500/400 | 3000/200?0 | 1500/1000 | 4000?/2000 |
刚度XY（N/μm） | 0.6.5 | 0.6.5 | 4.0.0 | 2 | N/A |
Max Load（kg）-横向 | 1 | 1 | 1 | 0.5 | 0.2 |
Max Load（kg）-横向 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.3 | 0.2 |
传感器 | 硅质高分辨率传感器 | 硅质高分辨率传感器 | 硅质高分辨率传感器 | 硅质高分辨率传感器 | 硅质高分辨率传感器 |
尺寸W*L*H（mm） | 206.5*152.5*15.6 | 155.5*152.5*15.5 | 120.8*120.7*28.5 | 152.5*190*18.5 | 51*60.5*43.2 |
材料 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 |
电源线长度（m） | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
推荐控制器 | 标准控制器 | 标准控制器 | 控制器 | 标准或者控制器 | 标准或者控制器 |
3轴纳米平台 | BIO3
| LT3
| LFHS3
| CUBE3
|
移动范围XYZ（μm） | 100?/200/300 | 100/200/300 | 75/75/50 | 100/200? |
分辨率XYZ（nm） | 0.1/0.2/0.3 | 0.1/0.2/0.3 | 0.075/0.075/0.05 | 0.1/0.2 |
本底噪声XYZ（nm） | 0.01/0.02/0.03 | 0.01/0.02/0.03 | 0.0075/0.0075/0.005 | 0.01/0.02 |
重复定位XYZ（nm） | 0.2/0.4/0.6 | 0.2/0.4/0.6 | 0.15/0.15/0.1 | 0.2/0.4 |
线性度 | 0.02% | 0.02% | 0.02% | |
共振频率XYZ（Hz） | 500/400/400 | 500/400/400 | 3000?/2000/1500 | 200?/200/500 |
刚度XYZ（N/μm） | 0.6/0.5/0.5 | 0.6/0.5/0.5 | 4/3/3 | 0.3/0.3/0.6 |
Max Load（kg）-横向 | 1 | 1 | 1 | 1 |
Max Load（kg）-垂向 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
传感器 | 硅质高分辨率传感器 | 硅质高分辨率传感器 | 硅质高分辨率传感器 | 硅质高分辨率传感器 |
尺寸W*L*H（mm） | 152.5*213*20.45 | 152.5*193*20.7 | 140*121*33.6 | 140*121*33.6 |
材料 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 |
电源线长度（m） | 2 | 2 | 2 | 2 |
推荐控制器 | 标准控制器 | 标准控制器 | 标准控制器 | 标准控制器 |
