详细介绍
Micro LPC-101 HP 粒子计数器以管线气压采集加压惰性气体样本。 本款粒子监测系统可将数据输出至外接打印机或 电脑。
好处
· 降
· 制程气体分配系统快速达标
· 监测气体中的粒子变化，以影响产量
· 系统配置两套设备：采样传感器和数据系统
· 制程控制
· 规格验证
· 检测制程干扰
· 量化系统变化造成的影响
· 测量粒径
· Facility Net软件的数据管理系统具有的数据储存、管理、、报警等功能
· 性高
· 无源腔设计，无需频繁维修保养
· 无需流体即可完成监测，这是其它系统所不具备的优点
· 以管线气压采集加压惰性气体样本
应用
· 气体分配系统规则达标
· 监测制程气体
Micro LPC-101 HP 粒子计数器以管线气压采集加压惰性气体样本。 本款粒子监测系统可将数据输出至外接打印机或 电脑。
好处
· 降
· 制程气体分配系统快速达标
· 监测气体中的粒子变化，以影响产量
· 系统配置两套设备：采样传感器和数据系统
· 制程控制
· 规格验证
· 检测制程干扰
· 量化系统变化造成的影响
· 测量粒径
· Facility Net软件的数据管理系统具有的数据储存、管理、、报警等功能
· 性高
· 无源腔设计，无需频繁维修保养
· 无需流体即可完成监测，这是其它系统所不具备的优点
· 以管线气压采集加压惰性气体样本
应用
· 气体分配系统规则达标
· 监测制程气体
