扩散炉
扩散炉主要是完成半导体元器件的扩散，可作元器件的烧结、退火、等工艺，具有应用范围广、安全可靠、控制精度高等特点。
2.设备名称       双管扩撒炉
3.型号           L4611II-Z/RZQ
4.规格           石英玻璃（单）管有效直径Φ150×2400mm，
                 管壁厚度5-6 mm。
5.主要配制：
5.1主机部分
5.2温度控制部分（PID）
5.3气路部分
5.4氧化室
5.5功率部分
5.6移动工作台
6.主要技术指标
6.1温度                         1280℃
6.2使用温度                         300℃～1200℃  
6.3恒温区长度                       大于等于600mm
6.4单点控温精度                     ±0.5℃/24h
6.5升温功率                         20kw
6.6保温功率                         10kw
6.7氮气流量   大                                 0～20L/min（可调）
           小（通过洗气瓶，容量500～1000ml）  0～1L/min


 


太阳能电池片扩散炉
太阳能电池片扩散炉具有四套独立的工艺炉管。供太阳能电池片生产线上156mm×156mm方片扩散、氧化、退火等工艺使用。
主要特点： 1.关键件全部采用进口件，具有高可靠性。 2. 采用进口智能控制器，可输出四个开关量，对炉温、阀门动作   进行自动控制，并管理全部工艺时序，可编辑存贮十条工艺曲   线。具有高抗干扰能力。 3. 具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置。 4. 具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。 5. 控温精度好，温区控温稳定性好。 6. 新型炉体设计结构，保证工艺过程中温区温度的快速稳定，更   适合于连续性大规模生产。 7.闭管式扩散系统更洁净、更环保。
太阳能电池片扩散主要有开管扩散和闭管软着陆扩散两种形式
1闭管磷扩散，带有工艺废气冷却定向回收装置，偏磷酸、CL2分开收集处理；工艺废气集中收集从尾部定向排出；各种工艺气体可分开送入石英管内，工艺气体(三氯氧磷)可采用喷淋式方式引入到石英管内。闭管软着陆扩散方式工艺过程完全不受外界环境干扰，工艺质量完全受保护。
2自动化程度：自动控制温度及工艺过程。主控温控模块采用国外进口，可在达到±0.25℃的控制精度。
3送取片方式：悬臂式推拉舟。采用侧面布局的悬臂推拉结构，可有效的防止偏磷酸下滴，造成推拉机构受腐蚀，影响推拉机构的性。
太阳能电池片扩散炉主要技术参数
序号 技术参数
1 工作温度： 300~1300℃
2 有效口径 根据用户扩散片确定，可订制
3 恒温区长度： 1080mm（可根据用户要求定制）
4 温区精度 (静态闭管测试)：600℃＜工作温度＜1200℃：±0.5℃  300℃≤工作温度≤600℃： ±1℃
5 单点温度稳定性(静态闭管测试)： 600℃＜工作温度＜1200℃：±0.5℃/24h 300℃≤工作温度≤600℃： ±1℃/24h
6 温度斜变能力：可控升温速度(300～1300℃)：15℃/min。降温速度(1300～900℃)： 5℃/min
7 气体流量设定精度： ±2％FS
8 气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s
9 自动送料装置行程：~2000m。速度：5~1000mm/min  SiC浆承重 19kg
10 装片数量 400片/管
11 净化台洁净度 100级（10000级厂房）
12 三相五线制 380V±10%，50Hz±10%Hz；
13 冷却水： 2～4Kgf/cm2，～8L/min

青岛奥博仪表设备有限公司生产销售lugb涡街流量计｜智能电磁流量计｜涡街流量传感器｜孔板流量计｜V锥流量计｜V锥流量传感器｜涡轮流量计｜污水流量计｜蒸汽流量计｜孔板流量计｜孔板流量传感器｜煤气流量计｜空气流量计｜气体涡街流量计，是一家集电子工业仪表、智能流量仪表的研制、开发、设计和生产于一体的科技公司。 公司是流量传感器的生产厂家，拥有国内先进的生产设备、加工设备、检测仪器及完美的配套设施。LUGB系列涡街流量计、电磁流量计、涡轮流量计、V锥流量计、MC51型智能流量显示仪及流量无纸纪录仪、彩屏无纸纪录仪、YBY型及PDS型压力变送器与液位变送器为本公司主要产品，广泛应用于各行各业的液位、气体和蒸汽流量的测量。该产品采用先进的电子仪表工艺，各项技术指标均达到国内水平。公司以其先进的技术、可靠的质量、优质的服务、过硬的信誉，受到客户好评。 GPRS远程抄表系统是集计算机技术、网络技术、通讯技术及自动测量技术为一体的管理系统。本系统实现了对蒸汽或热水的温度、压力、流量、热量等物理量进行远距离测量、监视、控制、通讯和数据采集，从而实现高度自动化管理。管理人员只要在中央管理室内，用网络浏览功能就能对整个供热系统一目了然，实现全天候对热网运行进行监控。系统实时在线，自动抄录用户仪表的数据，生成用户日、月、年用汽量、压力、温度等参数的各种报表、图形、曲线、及报表打印并自动记录用户停电时间与次数。 目前，公司生产的各种涡街流量仪表，规格齐全、性能优良、质量可靠，均已获得“计量器具生产许可证”，并已成为多家大型知名企业的定点供应厂家。 公司本着“高起点、严管理、重信誉”的企业宗旨，立足于坚实的质量基础，诚心为新老客户提供优质服务，促进企业发展，共同为中国的仪表事业作出贡献。