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供应LINE-TECH气体质量流量计M3030VA M3100VA

价 格: 88888.00
型号/规格:M3030VA M3100VA
品牌/商标:BROOKS

产品品牌:
韩国LINE-TECH

技术指标:


流量范围 10SCCM-125SLPM
响应时间 ≤2sec
准确度 ≤1%FS
重复精度 ±0.25%
输入/输出信号 0-5VDC,4-20mA
供电电源 +15~28VDC,350mA
耐压 <9MPa
工作环境温度 0-50℃
泄漏率 1*10-9atm.cc/sec

量控制器运用热动力学原理,一个有电源的加热器为内有连续稳定气流的 传感器套管的中部加热,在同一套管距加热器等距的地方各有一个电阻性的温度测量元件。 没有气流时,到达两个温度测量元件的热量是相等的:有气流时则气流带走热量,两温度 测量元件就有了温度差异,温度差异的大小和流量的大小成正比。该温度差异通过桥式电 路来反映,然后放大装置,以0-5V的输出电压输出到控制电路。 


在无流量的情况下,热量会均匀的分散在每个温度元件中,随着流量的增加,流体带着 热量从上游(该处温度为T1)到达下游,则下游温度上升(该处温度为T2),不同的温度上升通过两处元件显示,这种差异均衡的计量了气流或流速,电路显示温度的不同而放大器提供输出量给控制电路也就是0.5伏的输出信号。控制电路比较设定要求值和输出流量信号,然后控制电磁阀。当设定值低于2%时,控制阀完全关闭,控制阀由它的控制电路控制能完全打开或关闭。控制电路比较设定要求值和输出流量信号,然后控制电磁阀。当设定值低于2%时,控制阀完全关闭,控制阀由它的控制电路控制能完全打开或关闭。



仁荷泰可(北京)科技有限公司
公司信息未核实
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