纳米级位移传感器是一种非接触式的电容位移传感器;两个传感器板形成一个平行板电容器,每个电容传感器可用在两个不用的测量范围;纳米分辨率;零磁滞。
纳米级位移传感器该传感器是一种非接触式的电容位移传感器;两个传感器板形成一个平行板电容器,每个传感器可用在两个不用的测量范围;纳米分辨率;零磁滞。
纳米级位移传感器是一种非接触式的电容位移传感器。其优势为纳米分辨率、零磁滞。
ZNXsensor 电容传感器的两个传感器板形成一个平行板电容器。每个电容传感器可用在两个不用的测量范围。
纳米级位移传感器应用领域:
压电微位移、振动台,电子显微镜微调,天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。
纳米级位移传感器主要特点:
量程20~1250μm;
分辨率<0.1nm;零磁滞;
线性0.02%;
频带可调:50~5000Hz;灵敏度可调;
真空兼容选项;
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目标 1 通过化学气相沉淀方法将统一的胶片应用在硅晶片上。 2 使化学物质沉淀在晶片上。 高精度传感器解决方案 在沉淀开始前,Kaman传感器确保金属盘与喷洒器保持平行的位置关系,喷洒器用来均匀喷射气体(如图所示)。传感器则用来做校准装置,这样校准可以定位金属盘在一个最合适的位置。Kaman系统提供了模拟和数字两种输出信号,以防止信号值超出可承受范围。如果金属盘倾斜,制动装置将校正其位置。 高精度传感器原理,块状金属导体置于变化的磁场中或在磁场中作切割磁力线运动时,导体内将产生呈涡旋状的感应电流,此电流叫电涡流,以上现象称为电涡流效应。而根据电涡流效应制成的传感器称为电涡流式传感器。而KAMAN就是根据该原理设计成的电涡流传感器。 详情请访问: http://www.51sensors.com/prod_detail_782.html http://www.51sensors.com 英国真尚有集团 深圳市真尚有科技有限公司 电话:0755 - 26528100 / 26528011/26528012 传真:0755-26528210/26435640
ZLDS100测量往复铁块的位移测量背景: 在一个平台上测量铁块的往复运动,以此来测量相关的参数。往复的位移量有二十几毫米的大小,要求精度小于0.025mm,由于测量往复运动所以选择了起始位移有45mm的,由于它自身的运动频率到达了1k,在这种情况下测量,要选择一个10倍测量的频率,以免使数据丢失,所以我们选择了9.4k的采样频率。 ZLDS100测量往复铁块的位移测量方法: 将传感器固定安装,使铁块在一条直线内做往复运动,在9.4k的采样频率下,可以测量量程25mm的,精度为0.025mm的一个测量值。 ZLDS100传感器测量示意图 详情请访问: http://www.51sensors.com/prod_detail_764.html http://www.51sensors.com 英国真尚有集团 深圳市真尚有科技有限公司 电话:0755 - 26528100 / 26528011/26528012 传真:0755-26528210/26435640