价 格: | 面议 | |
是否提供加工定制: | 否 | |
品牌/商标: | ALPS/阿尔卑斯 | |
型号/规格: | HSPPARC001 | |
种类: | 压力 | |
材料: | 陶瓷 | |
材料物理性质: | 半导体 | |
制作工艺: | 薄膜 | |
输出信号: | 数字型 | |
防护等级: | . | |
线性度: | .(%F.S.) | |
迟滞: | .(%F.S.) | |
重复性: | .(%F.S.) | |
灵敏度: | -4 ~ 4%FS | |
漂移: | . | |
分辨率: | . |
ALPS公司开发了用于检测气压或者高度的《HSPP系列》压敏电阻式MEMS压力传感器(压检测用),该产品为目前世界上最小的压力传感器.
压力传感器不仅活跃在汽车、医疗、产业设备等领域,而且在洗衣机等消费电子产品领域上也得到广泛应用,其应用范围正在不断扩大。如今,整机厂家正在研究在PND(便携式导航装置,Portable Navigation Device)及计步器上附加高度检测功能,这种小型便携式设备就需要搭载更小、更薄的压力传感器。
作为压敏电阻式压检测用压力传感器,本产品为世界上最小的产品,该产品通过采用我公司多年积累下来的薄膜处理技术、微细加工技术及封装技术,实现了小型、低矮化。单个元件的小型型号(HSPPAR)实现了长2.5mm x 进深2.5mm x 高0.7mm的尺寸,内置功率放大器的混合型(HSPPAA)实现了长3.5mm x 进深3.5mm x 高1.0mm的尺寸。
产品的上述两种型号,有助于提高整机产品的设计自由度。而且,两种型号的产品都适合表面贴装。
本产品进行压力检测时采取将电阻变化作为电压信号来读出的方式,来自外部的压力使薄膜弯曲并使形成于薄膜上的压敏电阻元件变形,该变形产生用于检测的上述电阻变化。这种方式将薄膜的弯曲量直接当作压敏电阻元件的电阻变化来捕获,因此可形成简单的元件结构,而适合小型化。另外还通过我公司独有的微细加工技术加工出极小的传感元件,实现了产品的薄小型化。
还有,采取通过优化蚀刻条件形成稳定的空腔※2、抑制了外应力影响的Si-Si密封接合※3、采用不受温度变化影响的陶瓷材料等等措施,使产品性能加以稳定。
●开发了世界上最小的压敏电阻式(压检测用)压力传感器。
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